特許
J-GLOBAL ID：200903054641448930
走査型プローブ顕微鏡における超短パルス高電圧印加方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178759
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡の探針と試料間に、波形を歪ませず且つ効率良く超短パルス高電圧を繰り返し印加できるようにし、探針又は試料より放射される高エネルギー電子によって内殻電子又は原子核を中心に球対称分布した価電子を励起し、それに伴って放出される光子又はオージェ電子のエネルギー分析と計数分析を行って、従来の走査型プローブ顕微鏡では不可能であった表面原子一個毎の三次元的原子核座標の決定、元素分析、化学結合状態分析を可能にする。【解決手段】 パルス電源100側より直流又は交流の超短パルス高電圧を同軸ケーブル21に加え、探針14又は試料13の何れか一方に同軸ケーブルの終端を接続し、他方をほぼ接地電位とし、同軸ケーブルの終端がほぼ開放端と見なせるように、その外導体22を終端で切断し且つ芯線23を可及的に短く突出させ、芯線を探針又は試料の何れか一方に接続し、同軸開放端での電力反射により電圧がほぼ2倍になった超短パルス高電圧を、その波形を歪ませず印加する。
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡の探針と試料間に超短パルス高電圧を印加すべく、パルス電源側より直流又は交流の超短パルス高電圧を同軸ケーブルに加え、探針又は試料の何れか一方の側に前記同軸ケーブルの終端を接続するとともに、他方の側をほぼ接地電位とした超短パルス高電圧印加方法であって、前記同軸ケーブルの終端がほぼ開放端と見なせるように、該同軸ケーブルの外導体を終端で切断し且つ芯線を可及的に短く突出させ、該芯線を探針又は試料の何れか一方の側に接続して、同軸開放端での電力反射により電圧がほぼ2倍になった超短パルス高電圧を、その波形を歪ませることなく探針と試料間に印加してなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡における超短パルス高電圧印加方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 11/30 Z
