特許
J-GLOBAL ID：200903054643360290
ラップ研磨装置およびラップ研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 恒久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-290182
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136926
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 内径キー溝等の異形部分の研磨を効率よく行う。【構成】 載置台3に被研磨物2を取付けて、載置台3を移動させ、ラップ剤5をラップ工具4とキー溝2aとの間に注入する。スイッチ14をオンにすると、ラップ工具4が励磁されて磁性粉7がラップ工具4の表面に吸着される。砥粒6が磁性粉7に保持される。ラップ工具4を上下動させると、砥粒6がキー溝2aを切削する。スイッチ14をオフにすると、ラップ工具4が消磁されて砥粒6がラップ工具4から遊離する。ラップ工具4の上下動によってラップ剤5が撹拌される。再びスイッチ14をオンにすると磁性粉7がラップ工具4に吸着されて、新しい砥粒6が磁性粉7に保持される。
請求項（抜粋）：
載置台上に取付けた被研磨物に対して摺動自在にラップ工具が設けられ、該ラップ工具と前記被研磨物との間にラップ剤を介在させて研磨するラップ研磨装置において、前記ラップ剤は、前記被研磨物の表面を切削する砥粒と、該砥粒を前記ラップ工具の表面に保持させる磁性粉とから構成され、前記ラップ工具は、その表面に前記磁性粉を吸着させるよう磁性を有せしめられたことを特徴とするラップ研磨装置。
IPC (2件)：
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