特許
J-GLOBAL ID：200903054644792712
レーザ加工装置及びノズル加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-163607
公開番号（公開出願番号）：特開平8-025066
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【目的】 テーパ角が大きなく加工を行うことができるレーザ加工装置を提供し、体積が大きなノズルを加工するノズル加工方法を提示すること。【構成】 エキシマレーザビーム2の光路中にプリズム5を設け、そのプリズム5は、固定板7のラックに連結されたピニオン8の回転によって振動される。そして、加工時間の経過に対してピニオン回転角を小さく(プリズム5の振動幅を小さく)していきながら、エキシマレーザビーム2をノズルプレート6に照射することによって、テーパを有するノズルが加工される。このテーパを有するノズルが加工されたノズルプレートをインクジェットヘッドに用いて印字を行ったところ、ノズル内にエアーが侵入することなく、良好な噴射が行え、印字品質が良好であった。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から発生されたレーザビームを被加工物に照射して加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザ光源と前記被加工物との間の前記レーザビームの光路上に設けられたプリズムと、前記プリズムを振動させる振動手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
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