特許
J-GLOBAL ID:200903054644870101

低温クリーン乾燥機

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 雨笠 敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-185482
公開番号(公開出願番号):特開平7-019745
出願日: 1993年06月29日
公開日(公表日): 1995年01月20日
要約:
【要約】【目的】 精密若しくは非耐熱性器具、或いは試料等をクリーンな環境下で低温乾燥することができる低温クリーン乾燥機を提供する。【構成】 内部に精密若しくは非耐熱性器具、或いは試料2等を収納する箱体1内に、除湿用の冷却器5及び加熱用の凝縮器6を設ける。冷却器5及び凝縮器6を通過した気体を送風機7により箱体1内に循環させる。送風機7で循環される気体を通過させる高性能フィルタ8を設ける。
請求項(抜粋):
内部に精密若しくは非耐熱性器具、或いは試料等を収納する箱体と、この箱体内に設けられた除湿用の冷却器及び加熱用のヒータと、これら冷却器及びヒータを通過した気体を前記箱体内に循環させる送風機と、この送風機で循環される気体を通過させる高性能フィルタとを備えたことを特徴とする低温クリーン乾燥機。
IPC (3件):
F26B 21/00 ,  B01D 53/26 ,  F26B 21/04
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭61-234862

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