特許

J-GLOBAL ID：200903054645605150

圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計

発明者： 荒武 潔
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-346399
公開番号（公開出願番号）：特開2007-158386
出願日： 2005年11月30日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】 励振電極を容易且つ確実に電極分割して、より小型化及び高効率化された圧電振動片とその製造方法を提供すること。【解決手段】 開口部23を有するマスク24を、主面と振動腕部2、3の側面とで形成される2箇所の第1のエッジE1、又は、主面と溝部5の側面とで形成される2箇所の第2のエッジE2のうち少なくともいずれかのエッジ上に、開口部が位置するように配置すると共に、開口部を通して振動腕部の長手方向に直交する面上に沿いながら、溝部の底面又は外方の少なくともいずれかに向けて平行光Rを斜めに照射して感光膜21を露光する露光工程を有していることを特徴とする圧電振動片の製造方法を提供する。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

圧電材料からなる圧電板にフォトリソグラフィ技術を用いて、平行に配された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の基端側を一体的に固定する基部と、前記一対の振動腕部の両主面に前記振動腕部の長手方向に沿ってそれぞれ形成された溝部と、前記一対の振動腕部の外表面上に形成され、前記一対の振動腕部を振動させる励振電極とを有する圧電振動片を製造する方法であって、 前記励振電極を形成する電極形成工程は、 前記一対の振動腕部の外表面全体に導電性膜を被膜させる被膜工程と、 前記導電性膜上にポジ型の感光性材料からなる感光膜を塗布する塗布工程と、 予めパターニングされた開口部を有するマスクを、前記主面と前記振動腕部の側面とで形成される2箇所の第1のエッジ、又は、前記主面と前記溝部の側面とで形成される2箇所の第2のエッジのうち少なくともいずれかのエッジ上に、前記開口部が位置するように配置すると共に、前記開口部を通して前記振動腕部の長手方向に直交する面上に沿いながら、前記溝部の底面又は外方の少なくともいずれかに向けて平行光を斜めに照射して前記感光膜を露光する露光工程と、 前記感光膜を現像して露光領域を除去する現像工程と、 残った前記感光膜をマスクとして前記導電性膜をエッチング加工し、前記励振電極を形成するエッチング工程と、 を有することを特徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (7件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09

FI (8件)：

H03H3/02 D ,  H03H9/19 J ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 U

Fターム (27件)：

5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079BA44 ,  5J079FA01 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J079KA02 ,  5J108AA02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF01 ,  5J108FF05 ,  5J108HH04 ,  5J108KK02 ,  5J108KK06 ,  5J108KK07 ,  5J108MM14 ,  5J108NA03 ,  5J108NB02 ,  5J108NB04 ,  5J108NB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動子及び振動子を搭載した電子機器
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2000000238   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (1件)

• 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した電波時計、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-050356   出願人：セイコーエプソン株式会社