特許

J-GLOBAL ID：200903054647112070

基板搬送コンテナ

発明者： 嵯峨 幸一郎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266863
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077998
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送コンテナに収納される電子基板の汚染を防ぎ、コンテナ内部を清浄に維持することが可能な基板搬送コンテナを提供する。【解決手段】 電子基板Wを出し入れするための開口部12を有するコンテナ本体11と、開口部12を密閉する蓋体21とを備えた基板搬送コンテナ1において、少なくともコンテナ本体11の内面11a及び蓋体21におけるコンテナ本体11に対向する面21aの少なくとも一方が、ガスバリア性を有する膜41で覆われていることを特徴とする基板搬送コンテナ1である。

請求項（抜粋）：

基板を出し入れするための開口部を有するコンテナ本体と、前記開口部を密閉する蓋体とを備えた基板搬送コンテナにおいて、前記コンテナ本体の内面及び前記蓋体における前記コンテナ本体に対向する面の少なくとも一方が、ガスバリア性を有する膜で覆われていることを特徴とする基板搬送コンテナ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 81/24 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 81/24 A ,  B65D 85/38 R

Fターム (38件)：

3E067AA12 ,  3E067AB41 ,  3E067AC04 ,  3E067BA01A ,  3E067BB14A ,  3E067BC06A ,  3E067BC07A ,  3E067CA04 ,  3E067CA30 ,  3E067EA32 ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GA19 ,  3E067GD01 ,  3E067GD10 ,  3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA08 ,  3E096CB10 ,  3E096DA14 ,  3E096EA06Y ,  3E096FA03 ,  3E096GA03 ,  3E096GA04 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA09 ,  5F031DA17 ,  5F031EA01 ,  5F031EA02 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10 ,  5F031PA23