特許
J-GLOBAL ID:200903054649536030
ガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-016542
公開番号(公開出願番号):特開2003-215092
出願日: 2002年01月25日
公開日(公表日): 2003年07月30日
要約:
【要約】【課題】 短時間にガス濃度検知が可能でしかもヒータ耐久性の優れた省電力量タイプのガスセンサを提供する。【解決手段】 硝子の絶縁性耐熱基板9の上部に、下部から順々に積層した発熱体薄膜10と耐熱絶縁性薄膜11と耐熱ガス感受膜12を少なくとも備えた構成である。そして、発熱体薄膜10は、直流電源8により階段状に上昇させた電力値をパルス状に供給されるので、ガスセンサはその温度上昇を緩やかにしたステップ状で温度上昇して、熱衝撃が低減されその耐久信頼性が優れる。
請求項(抜粋):
絶縁性耐熱基板の上部に下から順々に積層した発熱体薄膜、耐熱絶縁性薄膜、耐熱ガス感受膜を備えたセンサ素子と、前記発熱体薄膜に予め決められた間隔ごとに電力を予め決められた時間だけ供給する直流電源とを少なくとも備え、前記直流電源は、電力値を階段状に上昇させて供給するガスセンサ。
IPC (3件):
G01N 27/409
, G01N 27/12
, G01N 27/416
FI (5件):
G01N 27/12 A
, G01N 27/12 B
, G01N 27/12 C
, G01N 27/58 B
, G01N 27/46 371 G
Fターム (49件):
2G004BB04
, 2G004BC02
, 2G004BE12
, 2G004BE13
, 2G004BE22
, 2G004BE27
, 2G004BG13
, 2G004BJ03
, 2G004BJ10
, 2G004BM04
, 2G004BM07
, 2G046AA11
, 2G046AA22
, 2G046AA23
, 2G046BA01
, 2G046BA04
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BC05
, 2G046BE03
, 2G046BE07
, 2G046BE08
, 2G046BF02
, 2G046DB04
, 2G046DB05
, 2G046DB09
, 2G046DC13
, 2G046DD01
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046EA08
, 2G046EA09
, 2G046EA12
, 2G046EB06
, 2G046FB02
, 2G046FE03
, 2G046FE10
, 2G046FE12
, 2G046FE22
, 2G046FE25
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE34
, 2G046FE35
, 2G046FE38
, 2G046FE39
, 2G046FE46
, 2G046FE49
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平1-206252
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ガスセンサの加熱装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-156324
出願人:松下電器産業株式会社
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