特許
J-GLOBAL ID：200903054654813696
紫外線照射式改質装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-349075
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185489
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】処理室に収容された低圧水銀灯の最冷部温度を一定に保ち、紫外線強度の変動を少なくした紫外線照射式改質装置を提供する。【構成】処理室5に収容されたワークWに、この処理室に設けた低圧水銀灯71から紫外線を照射し、この紫外線によってワ-クの表面を改質する装置において、上記低圧水銀灯は、発光管の最冷部が下側となるような傾斜姿勢で上記処理室に設置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
処理室に収容されたワークに、この処理室に設けた低圧水銀灯から紫外線を照射し、この紫外線によってワ-クの表面を改質する装置において、上記低圧水銀灯は、発光管の最冷部が下側となる傾斜姿勢で上記処理室に設置されていることを特徴とする紫外線照射式改質装置。
IPC (3件)：
B08B 7/00
, H01L 21/304 341
, H05K 3/26
