特許
J-GLOBAL ID：200903054663741584
レーザクリーニング装置およびレーザクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 義人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-146372
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343761
出願日： 2001年05月16日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：
【要約】【構成】 圧縮流体がノズル36の第1噴出口38aおよび第2噴出口40aからスポットPの外縁に向けて噴出され、90度より小さい吹付け角αで吹き付けられる。各圧縮流体は、スポットPの範囲内を流れて第1噴出口38aおよび第2噴出口40aの間の中心付近で衝突し合う。スポットPの範囲内を流れる圧縮流体は、異物に運動エネルギを与え、レーザ照射による異物の剥離・浮上に加勢する。そして、剥離・浮上した異物(極小異物を含む。)は、圧縮流体の流れに乗る。衝突し合った圧縮流体の流れの向かう先には吸引口42aが配置されており、したがって、吸引力が作用することとも相まって、圧縮流体とともに異物が吸引口42aに吸引される。【効果】 異物を確実に除去し、異物の除去率を向上できる。異物の基板表面への再付着を防止でき、しかも極小飛散も防止できる。
請求項（抜粋）：
基板表面にレーザビームを照射して前記基板表面を洗浄するレーザクリーニング装置において、前記基板表面に形成される前記レーザビームのスポットを挟んで対向する位置から前記スポットの外縁に向けて90度より小さい吹付け角で圧縮流体を噴出する第1噴出口および第2噴出口と、前記第1噴出口および前記第2噴出口の間に設けられる吸引口とを有するノズルを備えることを特徴とする、レーザクリーニング装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 645
, H01L 21/304 643
, B08B 5/00
, B08B 7/00
H01L 21/304 645 D
, H01L 21/304 643 Z
, B08B 5/00 A
, B08B 7/00
3B116AA01
, 3B116AB02
, 3B116AB33
, 3B116BB21
, 3B116BB72
, 3B116BB88
, 3B116BB90
, 3B116BC01
