特許
J-GLOBAL ID：200903054667285737
XYテーブル付き加工機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289862
公開番号（公開出願番号）：特開平9-131632
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【目的】 引っ張り力や曲げ応力などに対する機械的強度が特に要求されるか、面積が特に大きいかなどについて勘案することにより、長期間使用しても石材からなる部材に亀裂等の損傷が生じにくく、しかも温度変化に伴う膨張量や収縮量が極めて少ない、耐久性や信頼性が良好なXYテーブル付き加工機を提供する。【構成】 吸着テーブル9、Xテーブル10、支持台11、Yテーブル14およびY軸レール群15,16等の材料である第1の石材として、定盤(ベース盤)3の材料である第2の石材よりも機械的強度が高い材料を選択するとともに、この第2の石材として、第1の石材よりも熱膨張係数が小さい材料を選択した。
請求項（抜粋）：
被加工物が搭載される上テーブルと、該上テーブルを移動自在に支持する上レール群と、前記上レール群を載置した下テーブルと、前記上レール群と直交する方向に延びて前記下テーブルを移動自在に支持する下レール群とを備えたXYテーブルをベース盤上に設け、前記上テーブル、下テーブル、上レール群および下レール群を成す石材を、前記ベース盤を成す石材よりも機械的強度を高くした石材によって形成し、且つ、該ベース盤の石材を、前記上テーブル、下テーブル、上レール群および下レール群を成す前記石材よりも熱膨張係数を小さくした石材によって形成したことを特徴とするXYテーブル付き加工機。
IPC (3件)：
B23Q 1/26
, B23K 26/10
, B23K 37/04
B23Q 1/26
, B23K 26/10
, B23K 37/04 A
, B23Q 1/14 A
, B23Q 1/18 A
, B23Q 1/26 A
