特許

J-GLOBAL ID：200903054668139807

真空処理チャンバ用のねじ無しシールドアセンブリ

発明者： マイケル ローゼンシュタイン ,  ハワード グルーンズ ,  ステファン ブルース ブロッドスキー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ,  インターナショナル ビジネス マシーンズ, コーポレーション
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179738
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246187
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】取外し可能な締結具を使用せずに飛沫シールドを基板真空処理チャンバの所定位置に弾力的にクランプするために、寸法上融通性のあるフローティング・スペーサリングを使用する。【解決手段】アダプタリング76の下部78、スペーサリング84、クランプリング104及び絶縁リング58がシールドクランプアセンブリを構成し、飛沫シールド98のフランジをサンドイッチ構造に保持する。この構造はチャンバ内のスペーサ位置にシールドクランプアセンブリと共に飛沫シールドをクランプするためにチャンバの内外の圧力差を利用する。スペーサ位置は基本的にチャンバの真空封止境界の内部にある。位置合せ誤差が生ずると、部品を動かして位置を修正しない限り良好な真空密閉が達成できないような構造にされている。位置合せが適正になされると、飛沫シールドは処理チャンバの壁にぴったりと保持され、処理チャンバの壁と飛沫シールドとの導電性が予測される処理条件を通して確保される。

請求項（抜粋）：

基板処理チャンバにシールドを取り付けるための構造において、基板処理位置を囲む壁を有し、前記壁の上縁部がチャンバ開口部を形成している基板処理チャンバと、前記開口部に掛け渡され、前記チャンバ壁の前記上縁部に封止されるように形成されたチャンバ開口部カバー部材と、基板処理位置から発する処理成分が壁に達することを防止する少なくとも部分的な障壁として機能するように形成され、前記チャンバ壁の一部と前記チャンバ開口部カバー部材の一部との間に固定的に保持されクランプされた一体のフランジ部片を含むシールドとを備え、フランジ部分を保持しクランプするクランプ力の少なくとも一部が、前記カバー部材を前記チャンバ壁の上縁部の方向に押しやる基板処理チャンバの真空排気によって生成され、使用中に処理チャンバ内に配置された一組の取外し可能な締結具を取外しせず且つ交換せずに、使用中にシールドの取外しと交換がなされるように前記シールドが形成されている、構造。

IPC (3件)：

H01L 21/203 ,  C23C 14/00 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/203 S ,  C23C 14/00 C ,  H01L 21/302 B