特許

J-GLOBAL ID：200903054673439592

螺旋磁界を備えたプラズマフィルタ

発明者： セルゲイ プトビンスキイ ,  リチャード エル、フリーマン ,  チヒロ オーカワ
出願人/特許権者： アルキメデス テクノロジー グループ,インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315338
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179081
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】 低質量帯電粒子と高質量帯電粒子を効果的に分離すること。【解決手段】 内側壁と外側壁によって構成されたプラズマチャンバ内にて電界と交差する螺旋磁界を発生させ、このプラズマチャンバに所定速度の多種プラズマを通過させると、高質量粒子は外側壁へ放出され、チャンバ内に低質量粒子が閉じ込められ、両者の分離が可能となる。

請求項（抜粋）：

回転する多種プラズマ内の高質量粒子から低質量粒子を分離するための、螺旋磁界を備えたプラズマ質量フィルタであって、長手方向軸線を有するほぼ円筒形の外側壁と、前記外側壁と同軸状に位置し、前記外側壁との間にプラズマチャンバを構成するほぼ円筒形の内側壁と、磁界の軸方向成分(Bz)を発生するための第1磁気手段と、前記軸方向成分(Bz)と相互作用して前記螺旋磁界を発生する、前記磁界の方位角成分を発生するための第2磁気手段と、前記プラズマチャンバ内に交差する磁界および電界を発生するよう、前記螺旋磁界にほぼ垂直であって、前記内側壁に正の電位を有し、前記外側壁にほぼゼロの電位を有する電界を発生するための手段と、前記プラズマチャンバ内に前記回転中の多種プラズマを注入し、前記交差する磁界および電界と相互作用させ、前記プラズマチャンバから前記外側壁に前記高質量粒子を放出し、前記プラズマチャンバの通過中に前記プラズマチャンバ内に前記低質量粒子を閉じ込め、前記高質量粒子から前記低質量粒子を分離するための手段とを備えた、螺旋磁界を備えたプラズマ質量フィルタ。

IPC (3件)：

B01J 19/08 ,  G21K 1/00 ,  H01J 49/26

FI (3件)：

B01J 19/08 E ,  G21K 1/00 A ,  H01J 49/26