特許

J-GLOBAL ID：200903054683476402

マルチ切断ワイヤソーのウェーハ回収方法

発明者： 中浦 健一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152555
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340869
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】種類の異なる複数のインゴットをワイヤソーで同時に切断して得られたウェーハを各ロットごとに回収することができるマルチ切断ワイヤソーのウェーハ回収方法の提供。【解決手段】ワイヤソーで切断された各ウェーハWa、Wb、Wcのロット間に仕切板P1 、P2 を挿入する。そして、その仕切板P1 、P2 を挿入したウェーハWa〜Wcをカセット24内に収納し、該カセット24ごと前記ウェーハWa〜Wcを熱水中に浸漬させる。これにより、剥離後もウェーハWa〜Wcは各ロット毎に仕切られた状態でカセット24内に回収される。

請求項（抜粋）：

直列させた種類の異なる複数のインゴットをワイヤソーで同時に切断して得られたウェーハを、そのウェーハが接着されているスライスベースから剥離して枚葉回収するマルチ切断ワイヤソーのウェーハ回収方法において、前記ワイヤソーで切断されたウェーハの各ロット間に仕切板を挿入するとともに、その仕切板を挿入したウェーハをカセット内に収納し、該カセットごと前記ウェーハを熱水又は薬液中に浸漬させて、全てのウェーハを前記スライスベースから同時に剥離し、前記スライスベースから剥離したウェーハを前記カセット内で回収するとともに、前記仕切板によって前記カセット内に回収されたウェーハを各ロットごとに仕切ることを特徴とするマルチ切断ワイヤソーのウェーハ回収方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 311 ,  H01L 21/304 ,  B28D 5/04

FI (3件)：

H01L 21/304 311 A ,  H01L 21/304 311 W ,  B28D 5/04 C