特許
J-GLOBAL ID:200903054683960410

界面追跡シミュレーション方法及びそのプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-417376
公開番号(公開出願番号):特開2005-183411
出願日: 2003年12月15日
公開日(公表日): 2005年07月07日
要約:
【課題】 界面形状を表現する線分列の各線分の頂点の順番が入れ替わるためにループを作ってしまう現象が現れるという不都合を生じない界面軌跡シミュレーション方法を提供する。【解決手段】 界面追跡シミュレーション方法にオイラー描像的設計思想を取り入れ、界面に沿った距離を、2次元ユークリッド空間から自然に誘導されるものとして定義し、界面曲線の微小線素の長さを界面変形に対して不変とし、界面変形を表現する速度場の算出にあたって等長的な界面上での関数であるという性質を利用した。これにより、時間発展中の任意の時刻の界面形状において、左右非対称性を生ずることなく界面形状を追跡するためのシミュレーションが可能となる。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
2次元平面内に形成された界面の時間的発展を追跡するためのコンピュータ・シミュレーション方法であって、 界面を表現する曲線を、等長の線分に分割してなる線分列により近似し、 前記線分の長さを維持しながら、次の時間ステップの界面形状を決定する、 ことを特徴とするコンピュータ・シミュレーション方法。
IPC (2件):
H01L21/00 ,  H01L21/316
FI (2件):
H01L21/00 ,  H01L21/316 Z
Fターム (2件):
5F058BC02 ,  5F058BF80
引用特許:
出願人引用 (2件)

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