特許
J-GLOBAL ID：200903054686050538
プラズマエッチング装置用フォーカスリング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-037035
公開番号（公開出願番号）：特開平10-218664
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】 エッチング時の消耗が少なく、製品歩留りに優れるガラス状カーボン材からなるプラズマエッチング装置用フォーカスリングを提供する。【解決手段】 波長5145オングストロームのアルゴンイオンレーザー光を用いたラマンスペクトル分析において1360±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IA)と1580±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IB)の相対強度比R(IA/IB) と、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 (単位;オングストローム)とが、下記(1) 式の関係を満たすガラス状カーボン材からなるプラズマエッチング装置用フォーカスリング。R≧(d002 -3.344)/0.135 ...(1)なお、相対強度比Rは1.0 〜2.0 、平均格子面間隔d002 は3.40〜3.60の範囲に設定することが好ましい。
請求項（抜粋）：
波長5145オングストロームのアルゴンイオンレーザー光を用いたラマンスペクトル分析において1360±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IA)と1580±100cm-1のバンド域に現出するスペクトル強度(IB)の相対強度比R(IA/IB) と、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002(単位;オングストローム)とが、下記(1) 式の関係を満たすガラス状カーボン材からなることを特徴とするプラズマエッチング装置用フォーカスリング。R≧ (d002 -3.344)/0.135 ...(1)
IPC (4件)：
C04B 35/52
, C01B 31/02 101
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
C04B 35/52 A
, C01B 31/02 101 A
, C23F 4/00 A
, H01L 21/302 B
