検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-234268
公開番号（公開出願番号）：特開平10-078668
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ランプ光とレーザ光などの各種光源でのフォトマスクなどの被検査体に対する検査を行う。【解決手段】ランプ光源20から放射されたランプ光は光源切替ミラー24に入り、レーザ光源25から放射されたUVレーザ光は拡散板26により拡散されて光源切替ミラー24に入り、これらUVレーザ光とランプ光とは、光源切替ミラー24によりいずれか1つの光に切り替えられて照明光学系31に送られる。そして、UVレーザ光又はランプ光は、照明光学系31を通してフォトマスク32に照射され、このフォトマスク32を透過して得られるマスクパターン像に基づいてフォトマスク32の良否が判定される。

請求項（抜粋）：

光のスペクトル幅の異なる少なくとも2つの光源と、これら光源からそれぞれ放射された各光のうちいずれかの光を拡散する拡散光学系と、前記各光源からそれぞれ放射された各光及び前記拡散光学系により拡散された光を被検査体に照射する照明光学系と、前記各光源からそれぞれ放射された各光又は前記拡散光学系により拡散された光のうちいずれかの光を切り替えて前記照明光学系に導く光源切替手段と、前記被検査体を透過して得られる被検査体像に基づいて前記被検査体の良否を判定する検査判定手段と、を具備することを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G03F 9/00 , G01B 11/24 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (4件)：

G03F 9/00 H , G01B 11/24 F , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 V

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