特許

J-GLOBAL ID：200903054695975820

結晶配向性評価装置

発明者： 堀井 義正
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095070
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281061
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 結晶配向性評価装置に関し、簡便で、容易に、且つ、短時間で薄膜と下地基板との間の配向性を測定できる結晶配向性評価装置を提供する。【解決手段】 1次元以上の位置分解能を有する検出器2を、入射X線3と回折X線4により構成される面内に配置し、2本以上の回折X線4の試料面内での回折強度依存性を同時に測定する。

請求項（抜粋）：

1次元以上の位置分解能を有する検出器を、入射X線と回折X線により構成される面内に配置し、2本以上の回折X線の試料面内での回折強度依存性を同時に測定することを特徴とする結晶配向性評価装置。

IPC (3件)：

G01N 23/201 ,  G01N 23/207 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 23/201 ,  G01N 23/207 ,  H01L 21/66 N