特許
J-GLOBAL ID:200903054696406659
磁気センサ、方位検知システム、携帯通信端末、磁気エンコーダ及び磁気検知装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柏木 慎史
, 柏木 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-029657
公開番号(公開出願番号):特開2005-221383
出願日: 2004年02月05日
公開日(公表日): 2005年08月18日
要約:
【課題】 小型・軽量で地磁気程度の磁界オーダの微弱な磁界についても高感度に検知可能な磁気センサを提供する。【解決手段】 磁界検知用軟磁性体層の磁化の変化の検知に、当該磁界検知用軟磁性体層の膜面内における所望の磁界方向の領域においてマイナーループ領域(破線参照)を含む領域を用いることで、所望の磁化方位方向においてマイナーループ領域としても常に異方性磁界を受け、磁化回転モードによる磁化反転が主流となる磁気センサとなり、バルクハウゼンノイズの発生を抑制でき、かつ、残留磁化自体の値も小さくなるので、相対的に磁化の変動がマイナーループ領域でも小さくでき、磁化のドリフトを小さくできる。よって、小型・軽量で地磁気程度の磁界オーダの微弱な磁界についても高感度に検知可能な磁気センサを提供できる。【選択図】 図7
請求項(抜粋):
少なくとも磁界検知用軟磁性体層を含む磁性薄膜の積層構造を有して膜面に垂直にセンス電流を流すことにより前記磁界検知用軟磁性体層の磁化の変化を当該素子の抵抗値の違いとして検知する薄膜磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサであって、
前記磁界検知用軟磁性体層の磁化の変化の検知に、当該磁界検知用軟磁性体層の膜面内における所望の磁界方向の領域においてマイナーループ領域を含む領域を用いることを特徴とする磁気センサ。
IPC (5件):
G01R33/09
, G01C17/30
, G01R33/02
, H01L43/02
, H01L43/08
FI (5件):
G01R33/06 R
, G01C17/30 A
, G01R33/02 L
, H01L43/02 Z
, H01L43/08 Z
Fターム (8件):
2G017AA03
, 2G017AA16
, 2G017AC09
, 2G017AD55
, 2G017AD63
, 2G017AD66
, 2G017BA02
, 2G017BA03
引用特許: