特許

J-GLOBAL ID：200903054699555450

基板検査方法及び基板検査装置

発明者： 恒岡 正年 ,  高倉 慶子
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149302
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 基板の検査精度を向上することが可能な基板検査方法及び基板検査装置を提供する。【解決手段】 本発明に係る基板検査方法は、走査型電子顕微鏡装置を用いた基板検査方法である。この方法は、(1)電子ビームにより基板20上の検査対象領域Sを走査して、検査対象領域Sの検査画像情報を取得する工程と、(2)検査画像情報と基準となる比較画像情報とに基づいて、検査対象領域Sの状態を解析する工程と、を備える。そして、検査画像情報を取得するときに用いられる電子ビームの焦点合わせは検査対象領域S外であって検査対象領域の近傍Fで行われることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡装置を用いた基板検査方法であって、電子ビームにより基板上の検査対象領域を走査して、該検査対象領域の検査画像情報を取得する工程と、前記検査画像情報と基準となる比較画像情報とに基づいて、前記検査対象領域の状態を解析する工程と、を備え、前記検査画像情報を取得するときに用いられる前記電子ビームの焦点合わせは、前記検査対象領域外であって該検査対象領域の近傍で行われることを特徴とする基板検査方法。

IPC (6件)：

G01R 31/302 ,  G01B 15/00 ,  G01R 1/06 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 15/00 B ,  G01R 1/06 F ,  H01J 37/21 B ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J ,  G01R 31/28 L

Fターム (24件)：

2F067AA45 ,  2F067BB04 ,  2F067CC15 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067NN03 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ03 ,  2F067RR30 ,  2F067RR35 ,  2G011AC00 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AF13 ,  2G132AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  5C033MM07