フォーカス位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329142
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183197
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】パターン付き半導体ウエーハ等の、フォーカスをかける対象面に傾きはないがサブミクロンオーダの微小な段差があったり反射率に微細なむらがある対象面に対して、対物レンズのフォーカス位置を高速に検出する。【構成】対物レンズ2にレーザ光を光軸に平行かつ中心軸から外して入射する。ウエーハ表面9で反射され再度対物レンズ2を通ったレーザ光を、PSD4とCCDカメラ5で受ける。PSD4からレーザ光の光強度重み付き重心位置が、CCDカメラ5から光強度重み付き重心位置および一定の光量レベルで2値化した場合の面積重心位置が得られる。画像処理装置7より光強度重み付き重心と面積重心の位置を受け取り、その差からウエーハのパターンにより乱れたレーザ光の光量分布によるズレを出し、PSDアンプ6の出力を補正して対物レンズ2のフォーカス位置を出す。

請求項（抜粋）：

対象面を観察する顕微鏡の対物レンズと、前記対物レンズにフォーカス検出用のレーザ光を前記対物レンズの光軸と平行にかつ前記対物レンズの中心軸からやや外して入射するレーザ発振器と、前記対物レンズに入射し対象面で反射され再度前記対物レンズを通ったレーザ光を分割するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタで分割されたレーザ光の一方が入射する光位置検出素子と、前記ビームスプリッタで分割されたレーザ光のもう一方が入射する撮像カメラと、前記光位置検出素子の信号を前記光位置検出素子上にあたるレーザ光の光強度重み付き重心位置の出力に変換する光位置検出素子アンプと、前記撮像カメラからの映像信号より前記撮像カメラ上のレーザ光の光強度重み付き重心位置および一定の光量レベルで2値化した場合のレーザ光を受ける範囲の面積重心位置を出力する画像処理装置と、前記光位置検出素子アンプの出力から検出した前記対象面に対する前記対物レンズのフォーカス位置を前記画像処理装置が出力するレーザ光の光強度重み付き重心位置と面積重心位置との差で補正する補正装置とを含むことを特徴とするフォーカス位置検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02B 7/08 , G02B 7/28 , G03F 7/207

FI (3件)：

H01L 21/30 526 A , G02B 7/11 M , G02B 7/11 N

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