電気機械変換素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016543
公開番号（公開出願番号）：特開平10-211705
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】低温焼成ができず、コストが高く、高集積化が困難である。【解決手段】電気機械変換材料を一次焼成して粒状電気機械変換材料の単結晶体を得て、これを粉砕した後、金属アルコキシド化合物の一種若しくは複数を混合しゲル状にした溶媒中に分散し、粒状圧電材料を含むゾルゲル混合物を脱水、乾燥し、有機バインダーを添加し、粘度調整して適正粘度とし、スクリーン印刷やグリーンシート工法を用いて目的とする形状に成形した後、300〜900°Cで焼結(低温焼成)させて電気機械変換素子を得る。

請求項（抜粋）：

電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子において、この電気機械変換素子は予め所望の粒径に造粒形成した粒状電気機械変換材料をゾルゲル状の金属アルコキシドに混入して焼成してなることを特徴とする電気機械変換素子。

IPC (6件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , G01D 5/14 , H01L 41/09 , H01L 41/26

FI (5件)：

B41J 3/04 103 H , G01D 5/14 P , B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 C , H01L 41/22 C

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