特許
J-GLOBAL ID：200903054711188329
超高真空中における摩擦試験装置及びその試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244978
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074817
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 超高真空中において被試験体表面への潤滑用薄膜の形成と固定した被試験体に対して試料を繰返し摺動する摩擦試験を連続して行い、極薄膜に対する摩擦・摩耗の特性を調べる。半導体又は金属の被試験体には潤滑用薄膜の形成前に超高真空中で清浄化する。【解決手段】 超高真空状態に維持されたチャンバ10内に固定した被試験体16に試料20を押し当てて摺動する。試料には摩擦力センサ22と荷重センサ23が設けられる。チャンバ内からチャンバ外にかけて荷重センサに内部負荷レバー34が連結され、そのチャンバ外に延びる部分はベローズ44で大気と遮断される。チャンバ外にはレバー34を介して試料に荷重を与える外部負荷レバー44と、試料を摺動させる摺動手段37が設けられる。摺動前に被試験体表面に潤滑用薄膜を蒸着装置52で形成し水晶振動子式膜厚計18で膜厚を測定する。
請求項（抜粋）：
超高真空状態に維持されたチャンバ(10)内に、被試験体(16)を保持する被試験体ホルダ(17)と、試料(20)を前記被試験体(16)に対向するように保持する試料ホルダ(21)と、前記試料ホルダ(21)を先端に支持する第1リーフスプリング(26,27)を有しかつ前記試料(20)の被試験体(16)に対する摩擦力を検出する摩擦力センサ(22)と、前記第1リーフスプリング(26,27)と同一方向にかつリーフ面を直交して前記第1リーフスプリング(26,27)の基端に連結された第2リーフスプリング(31)を有し前記試料(20)の前記被試験体(16)に加わる荷重を検出する荷重センサ(23)とを備え;前記チャンバ内からチャンバ外にかけて前記第2リーフスプリング(31)の基端に内部負荷レバー(34)の先端が連結され;前記チャンバ外に、前記内部負荷レバー(34)の前記チャンバ外に延びる部分を大気と遮断して超高真空状態に維持するように被包するベローズ(47)と、前記内部負荷レバー(34)の基端に連結された外部負荷レバー(44)と、前記両レバー(34,44)及び両リーフスプリング(26,27,31)を介して前記試料(20)に前記被試験体(16)に対する荷重を与える加重手段(46)と、前記両レバー(34,44)及び両リーフスプリング(26,27,31)を介して前記試料(20)を前記被試験体(16)に対して摺動させる摺動手段(37)と、前記試料(20)の摺動時の前記荷重センサ(22)及び前記摩擦力センサ(23)の各検出出力を前記試料(20)の被試験体(16)に対する摩擦係数として記録するペンレコーダ(50)とを備えた超高真空中における摩擦試験装置であって、前記被試験体(16)の表面に潤滑用薄膜(15)を真空蒸着により形成する蒸着装置(52)と、前記蒸着により形成された潤滑用薄膜(15)の厚さを測定する水晶振動子式膜厚計(18)とを更に備えたことを特徴とする超高真空中における摩擦試験装置。
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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