特許

J-GLOBAL ID：200903054712272994

研磨装置

発明者： 森岡 出 ,  桑野 健二
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203008
公開番号（公開出願番号）：特開平8-047847
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 液晶ガラス基板、プリント基板、航空機用の窓ガラスなどの基板を、走行しかつ回転する研磨テープにより研磨またはクリーニングする研磨装置を提供する。【構成】 研磨装置1は、底部プレート21の開口内に回転可能に取り付けられたスピンドル34と、スピンドル34を回転させるためのモータ32と、押付けローラーと、押付けローラーの回転軸と平行に、側壁間に取り付けられた研磨テープ供給および巻取りローラーと、巻取りローラーを回転させるためのモータから成る。押付けローラーの中央部分の直径はその両端部分の直径よりも小さい。研磨テープTは供給ローラーから供給され、押付けローラーを経て巻取りローラーへと巻き取られる。モータ54が付勢されると研磨テープが走行し、モータ32が付勢されるとスピンドル35とともに押付けローラーが回転し、研磨テープが回転する。

請求項（抜粋）：

研磨テープが走行しかつ回転する、研磨装置であって、開口を有する基プレートと、該基プレートの前記開口内に配置され、前記基プレートに回転可能に取り付けられるスピンドルと、前記スピンドルを回転させるための、前記基プレートに取り付けられる第1の回転手段と、前記スピンドルの一端から伸長する対向した一対の伸長部の間に取り付けられる、研磨テープを対象物に押し付ける押付けローラーであって、該ローラーの回転軸が前記スピンドルの軸線に対して垂直であり、ローラーの中央部分の直径がその両端部分の直径よりも小さい、ところのローラーと、前記押付けローラーの回転軸と平行に、それぞれの回転軸が回転可能に前記一対の伸長部に取り付けられる研磨テープ供給および巻取りローラーであって、研磨テープが前記供給ローラーから供給され、前記押付けローラーを経て前記巻取りローラーへと巻き取られる、ところの供給および巻取りローラーと、前記巻取りローラーを回転させるための、前記スピンドルに取り付けられる第2の回転手段と、から成る研磨装置。