特許
J-GLOBAL ID：200903054717296646
空間光変調素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206832
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033942
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 光導電体のインピーダンスを制御するとともに、透明電極を含めた部材の性能を良好に保ち、光変調部材を良好に動作させることができる空間光変調素子を提供する。【解決手段】 対向する2つの透光性電極と光変調部材と光導電部材とを主構成要素とし、光信号によって光変調部材に情報を書き込む空間光変調素子であって、前記光導電部材が、少なくとも水素化アモルファスシリコンからなる光導電層と、窒素を含有し、窒素とケイ素の原子比が非化学量論比である水素化アモルファスシリコンを主体とする補助層とを有する。補助層は、原料ガスとして水素化ケイ素ガスおよび/またはハロゲン化ケイ素ガスと、窒素を含む一種以上のガスを用い、プラズマCVD法により形成する。この空間光変調素子の透光性電極間に交流電圧を印加して光情報の書き込みを行う。
請求項（抜粋）：
対向する2つの透光性電極と光変調部材と光導電部材とを主構成要素とし、光信号によって光変調部材に情報を書き込む空間光変調素子において、前記光導電部材が、少なくとも水素化アモルファスシリコンからなる光導電層と、窒素を含有し、窒素とケイ素の原子比が非化学量論比である水素化アモルファスシリコンを主体とする補助層とを有することを特徴とする空間光変調素子。
IPC (3件)：
G02F 1/135
, G02F 1/13 505
, H01L 31/0248
G02F 1/135
, G02F 1/13 505
, H01L 31/08 H
