特許

J-GLOBAL ID：200903054718276673

水晶振動子用連続成膜装置

発明者： 森兼 規夫 ,  土田 師文
出願人/特許権者： 株式会社昭和真空
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-024339
公開番号（公開出願番号）：特開平5-048363
出願日： 1991年02月19日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】多数枚の水晶振動子基板に不純物の混入の少ない電極膜を成膜速度を制御しながら形成すること。【構成】真空室内1に用意した複数の水晶振動子基板3に電極膜を形成する成膜手段を、水晶振動子基板と対向する前面にターゲット11を取り付けたスパッタ電極12で構成した。【効果】1枚のターゲットで多くの基板に対して水晶振動子の電極膜を形成することができ、長時間に亘り不純物の混入の少ない成膜を比較的正確に成膜速度をコントロールしながら行え良質の電極膜を形成できる。

請求項（抜粋）：

真空室内に複数の水晶振動子基板を移動自在に用意し、該真空室内の成膜手段と周波数測定手段を備えた成膜ステーションに該水晶振動子基板を順次に移動させて該基板に成膜を施すことにより水晶振動子を製造する装置に於いて、該成膜手段を、水晶振動子基板と対向する前面にターゲットを取り付けたスパッタ電極で構成したことを特徴とする水晶振動子用連続成膜装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-240113
  
• 特開昭57-169087
  
• 特公昭49-032479