自動搬送装置及びそれを用いた物品の自動搬送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005175
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216216
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】半導体ウエハ洗浄工程などの加工工程のより精密な動作制御及び管理を行うこと。【構成】AGV(物品搬送ロボット)30の、例えば、アーム装置36に、物品であるウエハキャリヤ1を保持した状態で、それに付されたバーコード3が読み取れるバーコードリーダー37Aを内蔵させ、ウエハキャリヤ1をストッカー120から洗浄装置13へ、またはその逆に搬送する間、前記バーコード3を読み取り、そのウエハキャリヤ1の位置情報を伝送できるように構成した自動搬送方法である。【効果】ウエハキャリヤの搬送中、その現在位置情報が時々刻々キャッチできるので、ウエハキャリヤの現在位置とホストコンピューターシステムに予め入力されているウエハキャリヤ追跡情報による位置とのずれを低減することができる。

請求項（抜粋）：

バーコードが付与された物品を搬送する自動搬送装置において、前記物品を保持した状態で前記バーコードが読み取れるバーコードリーダーを内蔵していることを特徴とする自動搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , H01L 21/02 , H01L 21/304 341 , H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-267045
特開平4-209011
特開平4-328608

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