特許
J-GLOBAL ID：200903054730634852
マスク支持台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140785
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326566
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 マスクの平面度がある程度不十分でもマスクと支持面との間にゴミが介在することがあっても、マスクのたわみ性状が平面度やゴミに依存することなく常に一定であるような4点支持型のマスク支持台を提供すること。【構成】 本発明においては、マスクを4つの支持面で当接支持するマスク支持台において、前記4つの支持面のうち隣接する2つの支持面を、前記4つの支持面を含む面に垂直で且つ前記隣接する2つの支持面の各中心を通る面内において、前記隣接する2つの支持面の各々から同じ距離だけ間隔を隔てた支点部を中心として揺動可能に支持する揺動手段と、前記4つの支持面のうち残りの2つの支持面を固定支持する固定支持手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
マスクを4つの支持面で当接支持するマスク支持台において、前記4つの支持面のうち隣接する2つの支持面を、前記4つの支持面を含む面に垂直で且つ前記隣接する2つの支持面の各中心を通る面内において、前記隣接する2つの支持面の各々から同じ距離だけ間隔を隔てた支点部を中心として揺動可能に支持する揺動手段と、前記4つの支持面のうち残りの2つの支持面を固定支持する固定支持手段とを備えていることを特徴とするマスク支持台。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, H01L 21/68
