特許
J-GLOBAL ID：200903054731343177
ウエハステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003577
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190647
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 ウエハを確実に支持面に載置できるウエハステージを得る。【構成】 ウエハステージ2に気体の吹き出しが可能な吹出口2fを設ける。
請求項（抜粋）：
搬送装置で支持面と対向した位置に搬送されたウエハを昇降ロッドで受け上記支持面に載置するウエハステージにおいて、上記支持面に気体の吹き出しが可能な吹出口を設けたことを特徴とするウエハステージ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65G 49/07
, C23C 14/50
