特許

J-GLOBAL ID：200903054731509083

赤外線乾燥機及び該乾燥機を用いたレジスト材の乾燥方法

発明者： 則松 力 ,  府川 清豪 ,  中岡 豊人
出願人/特許権者： 関西ペイント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019289
公開番号（公開出願番号）：特開平10-216623
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：

【要約】【課題】 板厚の異なる被塗物を赤外線乾燥機で乾燥させるときなど、赤外線照射量の調整が必要な場合に、赤外線照射量の調整を容易にかつ短時間で行うことができ、安定した焼付けを行うことができる赤外線乾燥機を得る。【解決手段】 赤外線ヒータ、赤外線ヒータ移動装置及び未乾燥塗膜を有する被塗物を支持するための被塗物支持装置を有し、該被塗物と赤外線ヒータの照射面との距離を調整できるように、赤外線ヒータが赤外線ヒータ移動装置によって移動可能であることを特徴とする赤外線乾燥機及びこの赤外線乾燥機を使用してプリント配線板用基板に塗装されたレジスト材を乾燥させる方法であって、コンベアとともに移動する該基板の板厚に応じて赤外線ヒータを移動させて該基板と赤外線ヒータの照射面との距離を調整することを特徴とするレジスト材の乾燥方法。

請求項（抜粋）：

赤外線ヒータ、赤外線ヒータ移動装置及び未乾燥塗膜を有する被塗物を支持するための被塗物支持装置を有し、該被塗物と赤外線ヒータの照射面との距離を調整できるように、赤外線ヒータが赤外線ヒータ移動装置によって移動可能であることを特徴とする赤外線乾燥機。

IPC (3件)：

B05D 3/02 ,  B05D 3/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B05D 3/02 E ,  B05D 3/00 D ,  H01L 21/30 566 ,  H01L 21/30 567