特許
J-GLOBAL ID：200903054732629740
高速原子線源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018575
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182787
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 高い割合でイオンの中性化を行い、かつエネルギーの低く指向性の良い高速原子線を効率よく放出する、小型の高速原子線源を提供する。【構成】 一つ以上の原子放出孔7を有する板状陰極21と、この板状陰極21に対向して設置された一つ以上の孔を有する板状陽極22と、前記板状陰極21とは別の陰極であって、前記板状陽極22に対向するとともに前記板状陰極21とで前記板状陽極22を挟むようにされた陰極23と、前記陰極23に負電位、前記板状陽極22に正電位を与えて、前記2つの陰極21,23と前記板状陽極22間に放電を起こすガスを導入するガス導入部4とから構成される。
請求項（抜粋）：
一つ以上の原子放出孔を有する板状陰極と、この板状陰極に対向して設置された一つ以上の孔を有する板状陽極と、前記板状陰極とは別の陰極であって、前記板状陽極に対向するとともに前記板状陰極とで前記板状陽極を挟むように設置された陰極と、前記陰極に負電位、前記板状陽極に正電位を与えて、前記2つの陰極と前記板状陽極間に放電を起こすガスを導入するガス導入部とから構成されることを特徴とする高速原子線源。
IPC (2件)：
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