特許
J-GLOBAL ID：200903054732923029
粒子検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274221
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113436
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 互いに異なる所望の粒子径の粒子を簡単な受光手段で検出できる粒子検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 粒子に光を照射して生じた回折光を少なくとも2つに分割し、該各分割した光を同心円で囲まれる領域に光取出部5a、6aが設けられた遮蔽部材からなる各光取出手段5、6を介して、該各分割した光に対応した各受光手段9、10で受光することにより、互いに異なる所望粒子径の粒子を検出する。
請求項（抜粋）：
粒子に光を照射して生じた回折光を少なくとも2つに分割し、該各分割した光を同心円で囲まれる領域に光取出部が設けられた遮蔽部材からなる各光取出手段を介することにより、それぞれ異なる所望粒子径を有する粒子による回折光を選択的に取り出し、該各回折光を各受光手段で受光することにより、互いに異なる所望粒子径の粒子を検出可能としたことを特徴とする粒子検出方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 15/14 P
, G01N 15/14 K
, G01N 21/47 A
