特許

J-GLOBAL ID：200903054736926316

テレセントリック光学装置

発明者： 若井 秀之 ,  寺田 啓治 ,  守屋 正人
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116674
公開番号（公開出願番号）：特開平9-305094
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】受光系の光利用効率および開口数を低下させることなくテレセントリック光学系における光通過領域を制限することができるようにする。【解決手段】検査面上に配設される物体と、第1及び第2のレンズを、第1のレンズの焦点距離と第2のレンズの焦点距離との合計距離だけ離間して配設するとともに、検査面位置を第2のレンズの集光位置としたテレセントリック光学手段と、ホログラムの参照光用光源7と、前記第1のレンズから第1のレンズの略焦点距離だけ離間した、前記第1及び第2のレンズの間の所定位置に配設され、前記第1のレンズの集光位置から出射される1乃至複数の点光源光がこの所定位置を通過する際の光と等価な光を再生するような露光処理が施されたホログラム3と、前記物体で反射されたホログラム再生光のテレセントリック光学手段を経由した光を検出する受光部12とを備える。

請求項（抜粋）：

所定の検査面上に配設される物体と、第1及び第2のレンズを、第1のレンズの焦点距離と第2のレンズの焦点距離との合計距離だけ離間して配設するとともに、前記検査面位置を第2のレンズの集光位置としたテレセントリック光学手段と、ホログラムの参照光用光源と、前記第1のレンズから第1のレンズの略焦点距離だけ離間した、前記第1及び第2のレンズの間の所定位置に配設され、前記参照光用光源からの光を回折して、前記第1のレンズの集光位置から出射される1乃至複数の点光源光がこの所定位置を通過する際の光と等価な光を再生するような露光処理が施されたホログラムと、前記第1のレンズの集光位置近傍に配設され、前記物体で反射された前記ホログラム再生光の前記テレセントリック光学手段を経由した光を検出する受光部と、を備えると共に、前記ホログラムは、前記ホログラム再生光がホログラムの一部領域から再生されるような露光が施されていることを特徴とするテレセントリック光学装置。