特許

J-GLOBAL ID：200903054740970168

吸着種検出装置及び固体物評価システム

発明者： 緒方 逸平 ,  角谷 篤宏 ,  佐竹 司
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-154525
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002858
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【目的】 固体物の吸着種を密閉室内に配置して観測するにあたり、赤外光透過窓部の破損によるガス漏洩を防止しつつ、できるだけ高い温度(例えば、1000°C)までの固体物の吸着種の検出を可能にした吸着種検出装置及び固体物評価システムを提供することを目的とする。【解決手段】 ケーシング31、OリングQ、支持体37及び赤外光透過窓部39からなる密閉室内に固体物36が収容されている。赤外光透過窓部39は、固体物36から加熱炉32により加熱下にて輻射される赤外光を透過させる。ここで、赤外光透過窓部39は支持体37に設けた冷却体38により冷却される。

請求項（抜粋）：

ガス供給手段(G、GA)からガスを供給される密閉室と、この密閉室の壁の一部を構成するように設けた赤外光透過窓部(39)とを備え、前記密閉室内に前記赤外光透過窓部に対向するように収容した固体物(36)を通し前記ガスを加熱下にて供給することにより当該固体物に吸着種を吸着させるとともに、前記固体物から赤外光を発生させる反応装置(30)と、前記赤外光透過窓部(39)を介して検出される前記赤外光に基づき前記吸着種を光学的に検出する光学的検出手段(60、70)と、前記赤外光透過窓部を冷却する冷却手段(38)とを備えてなる吸着種検出装置。

IPC (6件)：

G01N 21/62 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/71 ,  G01N 21/75 ,  G01N 31/00

FI (6件)：

G01N 21/62 Z ,  G01N 21/00 Z ,  G01N 21/35 Z ,  G01N 21/71 ,  G01N 21/75 Z ,  G01N 31/00 Z