表面検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-297203
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138121
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】柱状物体に種々の反射率の文字、模様の印刷があっても、疵、へこみ等の表面欠陥のみを正しく良否判定或いは検査することができる表面検査装置を提供するにある。【解決手段】表面検査装置はライン状の光束を照射する光源装置1と、撮像装置2と、撮像した被検査物体4の画像信号のデータを処理して被検査物体4の良否を判定する制御処理装置3とからなり、光源装置1からのライン状の光束と撮像装置2のなす投受光光軸角とを鈍角としている。従って被検査物体4の地の表面の反射光量と印刷部位の反射光量との比が1/4以上となるのでノイズの影響を無視でき、文字を欠陥と認識することもなくなりS/Nの良い画像を撮像することができる。

請求項（抜粋）：

ライン状の光束を被検査物体に照射する光源と、被検査物体を撮像して画像信号を出力する撮像装置と、この撮像装置からの画像信号のデータ処理を行なって被検査物体表面の欠陥を検出する制御処理装置を備えた表面検査装置において、上記光源と撮像装置のなす投受光光軸角が鈍角としたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 1/00

FI (4件)：

G01B 11/30 A , G01N 21/88 Z , G06F 15/62 400 , G06F 15/64 320 F

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