特許
J-GLOBAL ID:200903054748380696

ガラス基板角縁面研磨装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 黒田 勇治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-163536
公開番号(公開出願番号):特開平5-329760
出願日: 1992年05月29日
公開日(公表日): 1993年12月14日
要約:
【要約】【構成】 ガラス基板をもつ液晶パネルを保持する保持機構と、研磨テープをガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連続移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構を進退移動させる移動機構と、該テープ移送機構をガラス基板の角縁面長手方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テープとガラス基板との圧接力を受ける受圧パッドと、該受圧パッドの首振揺動を可能とする首振機構とを具備したことを特徴とするガラス基板角縁面研磨装置とからなる。【効果】 ガラス基板の角縁面は研磨テープの移送作用及び研磨テープの揺振作用の複合作用により圧接研磨されることになり、良好な研磨加工を得ることができる。
請求項(抜粋):
ガラス基板をもつ液晶パネルを保持する保持機構と、研磨テープをガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連続移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構を進退移動させる移動機構と、該テープ移送機構をガラス基板の角縁面長手方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テープとガラス基板との圧接力を受ける受圧パッドと、該受圧パッドの首振揺動を可能とする首振機構とを具備したことを特徴とするガラス基板角縁面研磨装置。
IPC (2件):
B24B 9/08 ,  B24B 21/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭57-184662
  • 特開平3-256660

前のページに戻る