特許
J-GLOBAL ID：200903054749452550
空気中のホウ素化合物を捕集、脱着する方法およびその分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-141292
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333233
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造クリーンルーム環境空気中の1ng/m3レベルのホウ素の定量分析を行うための空気中のホウ素化合物をの捕集、脱着する方法およびその分析方法を提供する。【解決手段】 空気中のホウ素化合物を固体捕集剤で捕集し、固体捕集剤を液体に浸漬することにより捕集したホウ素化合物を脱着する。
請求項（抜粋）：
空気中のホウ素化合物を固体捕集剤で捕集し、固体捕集剤を液体に浸漬することにより捕集したホウ素化合物を脱着する空気中のホウ素化合物の捕集、脱着方法。
IPC (3件)：
B01D 53/02
, B01D 53/46
, G01N 27/62
B01D 53/02 Z
, G01N 27/62 V
, B01D 53/34 120 A
