特許

J-GLOBAL ID：200903054752178443

パルスレーザ装置

発明者： 安岡 康一 ,  石井 彰 ,  玉川 徹 ,  沖田 裕二
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 木内 光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-145323
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343777
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 放電電極表面付近のレーザガスにおける温度差の発生を抑制し、アーク放電の発生を防止可能とすることにより、レーザガス寿命の長い、優れたパルスレーザ装置を提供する。【構成】 ガス容器1内に放電電極2a,2bを対向配置して放電部を形成し、この放電部と送風ファン7及び熱交換器9を含むガス流路を形成する。放電部にレーザガスを供給し、このレーザガスを励起してレーザを発生させる。ガス流路上に位置する放電電極2a,2bに冷却手段を設ける。一般的には、ガス流路上における放電電極2a,2bの上流に配置された導体3bについても冷却手段を設ける。冷却手段としては、典型的には、放電電極2a,2b及び導体3bに内蔵した冷却パイプ10を使用し、この冷却パイプ10内に冷媒を循環させる。

請求項（抜粋）：

ガス容器内に放電電極を対向配置して放電部を形成し、この放電部と送風ファン及び熱交換器を含むガス流路を形成し、前記放電部にレーザガスを供給し、このレーザガスを励起してレーザを発生させるパルスレーザ装置において、前記ガス流路上に位置する前記放電電極に冷却手段を設けたことを特徴とするパルスレーザ装置。