特許
J-GLOBAL ID：200903054757217781
表面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 欽造 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-328232
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184414
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 高精度で、信頼性の高い測定を行なう。【構成】 カンチレバー7は、一端に探針8を、他端にコーナーキューブ16を、中間部に枢軸6を、それぞれ有する。これら探針8、コーナーキューブ16、枢軸6は一直線上に配置される。上記探針8が被測定物表面を走査する事により、この表面形状を測定する。この測定に先立って、半径が既知の半球20を配置し、この半球20の表面を走査する。半球20の表面の座標データにより、円弧歪の量、並びに上記カンチレバー7のレバー比を算出する。これらの各値を基に、上記被測定物の表面形状の測定データを校正する。
請求項（抜粋）：
以下の(1)〜(6)の各構成要件を備える表面形状測定方法。(1)使用する接触式表面形状測定装置は、以下の?@〜?Eの要件を満たす。?@一端に探針を、他端に反射鏡を、中間部に枢軸を、それぞれ備え、この枢軸を中心として、鉛直方向であるz軸方向に回動自在なカンチレバーを備える。?A上記探針と、上記枢軸と、上記反射鏡の一部で、上記探針の所定量の回動に拘らず、この反射鏡で反射する光束の光路長が一定とみなせる位置とは、一直線上に配置している。?B上記カンチレバーを、表面形状を測定すべき被測定物に対し、水平方向一方向であるx軸方向、及び水平方向で上記x軸方向と直交するy軸方向に亙って相対移動自在とする移動手段を備える。?C上記探針を被測定物表面に接触させた状態でこの表面上を走査する事による上記反射鏡の変位を測定する干渉装置を備える。?Dこの干渉装置によって得られる干渉縞の干渉強度を検出する検出手段を備える。?E上記検出手段からの検出信号を基に上記表面形状を算出する演算手段を備える。(2)被測定物の測定に先立って、上記枢軸のx軸方向に亙る走査軌跡が上記探針の回動幅の中央部に位置する様に、その半径Rが既知の真球体を測定台に載置する。(3)上記真球体の頂点からの上記z軸方向に亙る距離が等しい1対の点の座標を、少なくとも3組求め、これらそれぞれ対となる点同士の中点の座標を算出する。次いで、これら中点の座標が描く、上記カンチレバーの枢軸から探針までの距離rを半径とする、(x-x0 )2 +(z-z0 )2 =r2 なる円の方程式を求める。そして、この円の方程式から得られる中心座標のz座標の値z0 を求め、このz0 を上記枢軸のz座標とする。(4)このz座標の値に基づいて上記枢軸のx軸方向に亙る誤差を補正した後に、上記カンチレバーの探針と上記枢軸との距離と、この枢軸と上記コーナーキューブとの距離との比であるレバー比を求める。先ず、上記探針が上記真球体の表面を走査する事により得られた複数の点の座標が描く、補正係数cを含む、(X-X0 )2 +(cZ-Z0 )2 =R2 なる、上記真球体の、上記頂点を含む断面形状を表す楕円の方程式を求める。そして、この方程式により上記補正係数cを求める。次いで、上記枢軸のx軸方向に亙る誤差を補正する以前に求めていたレバー比に、この補正係数cを乗ずる。(5)上記枢軸のz座標、並びにレバー比を求めた後、上記測定台に被測定物を載置し、この被測定物を探針により走査してその表面形状を測定する。(6)この測定結果を、上記枢軸のz座標の値、並びに上記レバー比に基づいて補正した後に出力する。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30 102
, G01N 37/00
