特許

J-GLOBAL ID：200903054760972680

静電チャック

発明者： 川合 潔 ,  川畑 清
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323689
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163111
出願日： 1997年11月26日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 吸着面がガラス面になる場合においても絶縁基板を保持固定又は搬送するのに十分な吸着力が得られる静電チャックを提供する。【解決手段】 電圧印加電極2を有する絶縁性誘電体層3上に載置した絶縁基板(液晶表示装置用ガラス基板)6を電気的に吸着する静電チャックにおいて、絶縁性誘電体層3の抵抗が絶縁基板(液晶表示装置用ガラス基板)6の抵抗より低くしてなる静電チャック。

請求項（抜粋）：

電圧印加電極を有する絶縁性誘電体層上に載置した絶縁基板を電気的に吸着する静電チャックにおいて、絶縁性誘電体層の抵抗が絶縁基板の抵抗より低くしてなる静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D