特許
J-GLOBAL ID：200903054765667168
微小構造形成装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103435
公開番号（公開出願番号）：特開平8-298255
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、256M以上のULSIや量子効果素子などのデバイスのための微小な構造物を製作する、微小構造形成装置および方法を提供する。【構成】 雰囲気を調節可能な反応容器1の中に、試料2を保持する試料ホルダー3と、探針4と、駆動機構5を備えた走査型プローブ顕微鏡を有し、試料表面のごく近傍にガスの導入機構6と前記ガスの局所排気を行う機構7とを備える。探針4はプラチナ-イリジウムでカンチレバー8の先端に位置し、反応ガスは水素を主成分とする。【効果】 本発明によって、走査型プローブ顕微鏡を用いる構造形成の際に起こりやすい探針先端への影響を避けた条件で、安定に高速かつ連続的に加工が可能な微小構造形成装置および方法を提供するすることができた。
請求項（抜粋）：
雰囲気を調節可能な反応容器の中に、試料を保持する試料ホルダーと、探針と、駆動機構を備えた走査型プローブ顕微鏡を有し、試料表面の近傍にガスの導入機構と前記ガスの局所排気を行う機構とを備えたことを特徴とする微小構造形成装置。
FI (2件)：
H01L 21/302 B
, H01L 21/302 J
