特許
J-GLOBAL ID：200903054770043024
微小寸法測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187034
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083615
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 光学顕微鏡とTVカメラ等のイメージセンサを利用して,磁気ヘッドのギャップ幅,ICウェハの線幅等の微小寸法を非接触で測定する場合に,実際の測定では,左右の輝度レベルが異なることが多いことと,分解能α以上の寸法測定の安定度を考慮して,これらに適合した寸法測定方法を提供する。【構成】 被測定物画像の輪郭間の位置差の情報だけではなく,被測定物の実寸法と該被測定物の対応画像の輝度レベル情報との比例関数関係を被測定物の寸法測定の1要素に加えた構成とし,左右の輝度レベルの差に対応して,積分値を求める画素間隔を2分し,それぞれの積分値を用いて寸法を算出するようにした。被測定物の実寸法が顕微鏡の分解能αよりも小さい時にも,実寸法に近い高精度の寸法測定が可能である。
請求項（抜粋）：
光学顕微鏡とイメージセンサを用いて,被測定物を撮像し,前記被測定物の各点位置に対する映像信号の輝度レベルを示す山形又はへこみ状のグラフを得て,該グラフ上の形状変化開始前の位置の輝度レベル(VLp)と山形の頂点又はへこみの最低点の輝度レベルとの中間の輝度レベル(LTs)を示す点aと,前記頂点又は最低点の輝度レベルと前記形状変化の終了後の位置の輝度レベル(VRp)との中間の輝度レベル(RTs)を示す点bと,点c=a+(α/2),但しαは光学顕微鏡の分解能,点d=a-(α/2)とからa点からc点間は,【数1】c点からd点間は,X2=k(d-c)d点からb点間は,【数2】を得,X=X1+X2+X3により,被測定物の寸法を算出することを特徴とする微小寸法測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/02
, G01B 11/00
, G06T 7/60
