特許
J-GLOBAL ID：200903054779974977
研磨ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-033749
公開番号（公開出願番号）：特開平7-241766
出願日： 1994年03月03日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 被加工物を極めて高い精度の面に仕上げるための研磨加工に用いられ、単一の研磨ヘッドで粗研磨から超高精度の仕上げ研磨までを可能とする研磨ヘッドを提供する。【構成】 直進案内部(7)と、該直進案内部内に進退自在に配設された直進部(6)と、前記直進部内に配設された回転駆動部(15)と、前記直進部を進退移動させる直進駆動手段(1)と、前記直進案内部に配設され前記直進部を高速に駆動可能な高速駆動手段(12)と、該高速駆動手段と前記回転駆動部との間に接合され、加工物からの反力を検知する力検知手段(14)と、力制御手段(8)とからなる研磨ヘッド。
請求項（抜粋）：
工具が上下方向に動き、該工具の動きが自重の影響を受ける研磨ヘッドにおいて、直進案内部と、該直進案内部内に進退移動自在に配設された直進部と、該直進部内に配設された回転駆動手段と、前記直進部を進退移動させる直進駆動手段と、前記直進案内部内に配設され、前記直進部を高速に駆動可能な高速駆動手段と、該高速駆動手段と前記直進部との間に接合され、加工物からの反力を検知する力検知手段と、前記直進駆動手段及び前記高速駆動手段を制御する力制御手段を備えたことを特徴とする研磨ヘッド。
IPC (3件)：
B24B 41/04
, B24B 47/10
, B24B 49/16
