特許
J-GLOBAL ID：200903054782899609
カソードルミネッセンス分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369920
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183295
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 短時間に異なる単色光のカソードルミネッセンス(CL)像を得ることができるカソードルミネッセンス分光装置を提供すること。【解決手段】 赤色光のCL像表示の場合、表示制御手段33は、切換スイッチ26についてはSW1のみをオンとし、ゲイン切換スイッチ32についてはSW5をオンとするための信号をスイッチ制御手段37に送る。この結果、ダイロイックミラー12で赤色光、緑色光、青色光に分離され、それぞれの色信号として取り出された信号のうち、プリアンプ23が出力する赤色信号CLRのみが加算アンプ30を介して表示制御手段33に送られる。表示制御手段33は、加算アンプ30から送られてくる信号、すなわち試料から発生した赤色光の強度信号と、偏向器4に与えられる電子線偏向信号に基づいて、赤色光のCL像をカラーディスプレイ35の画面上に表示させる。
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射して、電子線または試料を二次元的に走査し、その電子線照射により試料から発生した光を検出し、その検出した光に基づいてカソードルミネッセンス像を表示するようにしたカソードルミネッセンス分光装置において、電子線照射により試料から発生した光を色別に分離して検出し、色信号として出力する光分離手段と、その光分離手段が出力する色信号のうち、特定の色信号を選択して出力する選択手段と、その選択手段の出力に基づいて、前記選択された色光に関するカソードルミネッセンス像を表示させる手段を備えたことを特徴とするカソードルミネッセンス分光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/62 A
, H01J 37/256
2G043AA01
, 2G043AA03
, 2G043CA05
, 2G043EA11
, 2G043FA01
, 2G043GA04
, 2G043GA21
, 2G043GB01
, 2G043GB21
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043JA03
, 2G043JA05
, 2G043LA02
, 2G043NA01
, 2G043NA06
, 2G043NA13
