光走査装置及びこれを用いた物体検出装置、描画装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：三好秀和 , 三好保男 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 栗原彰 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-012458
公開番号（公開出願番号）：特開2004-226548
出願日： 2003年01月21日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】非共振型の利点と共振型の利点とを兼ね備えた新規な構造の光走査装置、及びこれを用いた物体検出装置、描画装置を提供する。【解決手段】シリコンウエハをマイクロマシニング加工技術によって加工して、シリコンプレート13を形成する。このシリコンプレート13では、ミラー部18が第1及び第2の弾性梁20,24によって水平方向に揺動可能に支持され、第3の弾性梁22によって垂直方向に揺動可能に支持されている。そして、このようなシリコンプレート13を用いて2次元光スキャナ10を構成し、第1乃至第3の弾性梁20,22,24を捩り振動させることでミラー部18を揺動操作して、レーザ光を所定の走査範囲に走査させる。このとき、第2の弾性梁24は共振駆動させる一方で、第1の弾性梁20は非共振駆動させる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

揺動操作されるミラー部で光源からの光を反射させて所定の範囲に走査させる光走査装置において、前記光源からの光を水平方向に走査する機構として第1のスキャナ手段と第2のスキャナ手段とを備え、前記第1のスキャナ手段による走査速度と走査範囲とが、前記第2のスキャナ手段による走査速度と走査範囲とに比べて、低速且つ広域であることを特徴とする光走査装置。

IPC (2件)：

G02B26/10 , G01S7/48

FI (4件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/10 A , G02B26/10 C , G01S7/48 A

Fターム (33件)：

2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB38 , 2H045AB43 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 2H045DA31 , 5J084AA01 , 5J084AA05 , 5J084AA10 , 5J084AB01 , 5J084AC02 , 5J084AD01 , 5J084AD05 , 5J084BA04 , 5J084BA11 , 5J084BA34 , 5J084BA36 , 5J084BA50 , 5J084BB28 , 5J084CA34 , 5J084CA65 , 5J084CA67 , 5J084CA71 , 5J084CA72 , 5J084DA01 , 5J084DA02 , 5J084DA03 , 5J084DA08 , 5J084EA05 , 5J084EA22 , 5J084EA23 , 5J084EA29

引用特許：

審査官引用 (4件)

障害物検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-296132 出願人：日本電気エンジニアリング株式会社
特開昭57-008520
特開昭56-164928

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