特許
J-GLOBAL ID:200903054795648346
クリームハンダ用マスクおよびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池浦 敏明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-341285
公開番号(公開出願番号):特開平7-156569
出願日: 1993年12月10日
公開日(公表日): 1995年06月20日
要約:
【要約】【目的】 煩雑な工程を必要とせず、修正も容易にでき、しかも、よりファインな(微細な)マスクパターンを形成できるクリームはんだ用マスクの製造方法を提供する。【構成】 樹脂フィルムからなるマスク原板にエキシマレーザによるアブレーション加工により開口部を形成することからなるクリームはんだ用マスクの製造方法。
請求項(抜粋):
樹脂フィルムからなるマスク原板にエキシマレーザによるアブレーション加工により開口部を形成することからなるクリームはんだ用マスクの製造方法。
IPC (2件):
引用特許: