特許
J-GLOBAL ID：200903054798385222
ウエハの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341502
公開番号（公開出願番号）：特開平6-155253
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの欠けを防止することが可能なウエハの製造方法を提供する。【構成】 オリエンテーションフラット加工工程とウエハの切断工程との間に、及び/又は所定の厚みに切断されたウエハの円周加工工程とラッピング工程との間に、オリエンテーションフラット部の端部を研磨する工程を含む。
請求項（抜粋）：
インゴットを円柱状に研削する第1工程と、第1工程を経たインゴットにオリエンテーションフラット部を形成する第2工程と、第2工程を経たインゴットをウエハに切断する第3工程と、前記ウエハの円周をベベリング加工する第4工程と、第4工程を経たウエハにラッピングを施す第5工程とを含むウエハの製造方法において、前記第2工程と前記第3工程との間及び/又は前記第4工程と前記第5工程との間に前記オリエンテーションフラット部の端部を研磨する工程を含むことを特徴とするウエハの製造方法。
IPC (2件)：
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