分光分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163049
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003271
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】本発明はラマン散乱を利用して試料の分析を行う分光分析装置に関し、感度及び分解能を向上することを目的とする。【構成】試料12に向け光を照射するレーザ発生装置11と、試料12で散乱された散乱光を集光する集光光学系13と、集光光学系13により集光された散乱光が入射され散乱光を分光するポリクロメータ14と、このポリクロメータ14より出射され結像したスペクトルパターンを検出する1次元ライン型CCD15とにより構成される分光分析装置において、上記CCD15を、上記スペクトルパターンに沿って走査させる走査装置25,27,18を設ける。

請求項（抜粋）：

試料(12)に向け光を照射する励起光源(11)と、該試料(12)で散乱された散乱光を集光する集光光学系(13)と、該集光光学系(13)により集光された散乱光が入射され、該散乱光を分光する分光器(14)と、該分光器(14)より出射され結像したスペクトルパターンを検出する光検出器(15)とにより構成される分光分析装置において、該光検出器(15)を、上記スペクトルパターンに沿って走査させる走査装置(24)を設けたことを特徴とする分光分析装置。

IPC (2件)：

G01N 21/65 , G01N 21/27

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-099929
特開平4-099929
特開昭59-132338

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