特許
J-GLOBAL ID：200903054803798484
膜厚モニタ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237489
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083445
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】多数の薄膜の膜厚監視を正確に行うことができる膜厚モニタ装置を、提供する。【解決手段】薄膜形成装置の真空槽1内には、膜厚モニタ装置7が固定されている。この薄膜モニタ装置7は、高速回転するディスク16,このディスク16の下面全域を覆うとともに、ディスク16の径方向に直交する方向に沿って形成されてディスク16の径方向に移動可能なスリットSを有するスリットユニット18,及び、ディスク16の径方向に移動可能であって、スリットSを通過した材料物資によってディスク16下面に形成されたリング状のモニタ用薄膜に光を照射するとともに当該モニタ用薄膜からの反射光を受光するフォトリフレクタユニット35を、有している。
請求項（抜粋）：
真空槽内に配置された基板表面に拡散源から拡散した材料物質を付着させることによって薄膜を形成する薄膜形成装置における、前記薄膜の膜厚を監視するための膜厚モニタ装置であって、前記真空槽内においてその中心軸に直交する面内で回転可能に設置されたディスクと、このディスクを回転させる回転機構と、前記ディスクの前記拡散源側の平面を覆うとともに、前記ディスクの径方向に直交する方向に沿って形成されて前記ディスクの径方向へ移動可能に構成されたスリットを有する遮蔽部材と、前記ディスクの前記拡散源側の平面に対向して前記ディスクの径方向に移動可能に設けられ、前記遮蔽部材の前記スリットを通過した前記材料物質によって前記ディスクの平面上に形成された薄膜に光を照射するとともにこの薄膜での反射光を受光するフォトリフレクタと、前記スリットと前記フォトリフレクタとを、前記ディスクの中心軸から同距離となるように移動する移動機構とを備えたことを特徴とする薄膜モニタ装置。
IPC (4件)：
G01B 11/06
, C23C 14/24
, C23C 14/54
, H01L 21/66
G01B 11/06 Z
, C23C 14/24 U
, C23C 14/54 E
, H01L 21/66 P
