特許
J-GLOBAL ID：200903054811664853
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026600
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244250
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 特性測定用端子の数が非常に多く、且つ端子間が微細なピッチである電子デバイスについても、その電気的特性の測定が可能なプローブカードを得ること。【構成】 透明なガラス基板1と、該ガラス基板上に、被検査電子デバイスに設けられた複数の各特性測定用端子と個別に接触させるための複数のバンプ4と、外部の測定装置と信号線の接続を行なうための複数の接続端子3と、前記各バンプ4と各接続端子3とを電気的に個別に接続するパターン配線2とを備えたプローブカード。
請求項（抜粋）：
被検査電子デバイスの電気的特性測定装置に用いるプローブカードにおいて、透明なガラス基板と、前記電子デバイスに設けられた複数の各特性測定用端子と個別に接触させるため、前記ガラス基板上の前記各特性測定用端子に対応する位置にそれぞれ設けられた複数のバンプと、前記測定装置と複数の信号線の電気的接続を行なうため、前記ガラス基板上にそれぞれ設けられた複数の接続端子と、前記複数の各バンプと複数の各接続端子とを電気的に個別に接続するため、前記ガラス基板上にそれぞれ設けられたパターン配線とを備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 1/073
