光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及び樹脂絶縁パターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲吉▼田繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210281
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029212
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】有機溶剤の蒸散による環境汚染や乾燥塗膜の体積収縮を生ずることのない樹脂絶縁層、特にバイヤホールを有する樹脂絶縁層の形成に有用なポジ型の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及び樹脂絶縁パターン形成方法を提供する。【解決手段】組成物は、(A)酸分解性エステル基を有する重量平均分子量500〜40,000の樹脂化合物、(B)1分子中に1個のエチレン性不飽和結合を有し、かつ、酸により分解してカルボン酸を生成する基を有する化合物、(C)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物、(D)光ラジカル重合開始剤及び(E)エポキシ樹脂を含有する。この組成物を基材上に塗布し、活性エネルギー線を照射して塗膜を形成した後、上記活性エネルギー線より短波長の活性エネルギー線を選択的に照射し、加熱処理し、現像して上記活性エネルギー線の選択的照射部分の塗膜を除去し、次いで加熱硬化して樹脂絶縁パターンを形成する。

請求項（抜粋）：

(A)酸分解性エステル基を有する重量平均分子量500〜40,000の樹脂化合物、(B)1分子中に1個のエチレン性不飽和結合を有し、かつ、酸により分解してカルボン酸を生成する基を有する化合物、(C)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物、(D)光ラジカル重合開始剤、及び(E)エポキシ樹脂を含有することを特徴とする光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。

IPC (14件)：

G03F 7/038 505 , C08F299/00 , C08L 57/04 , C08L 61/14 , C08L 63/00 , C09D 5/00 , C09D157/04 , C09D161/14 , C09D163/00 , G03F 7/029 , G03F 7/032 , H05K 3/06 , H05K 3/28 , H05K 3/46

FI (14件)：

G03F 7/038 505 , C08F299/00 , C08L 57/04 , C08L 61/14 , C08L 63/00 B , C09D 5/00 C , C09D157/04 , C09D161/14 , C09D163/00 , G03F 7/029 , G03F 7/032 , H05K 3/06 H , H05K 3/28 D , H05K 3/46 T

Fターム (114件)：

2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BC14 , 2H025BC34 , 2H025BC85 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CB00 , 2H025CB29 , 2H025CB30 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB51 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025DA01 , 2H025FA05 , 2H025FA06 , 2H025FA12 , 2H025FA15 , 2H025FA29 , 4J002BG011 , 4J002CC031 , 4J002CD042 , 4J002CD052 , 4J002CD122 , 4J002CD132 , 4J002CD142 , 4J002EB117 , 4J002EE038 , 4J002EE058 , 4J002EH076 , 4J002EQ017 , 4J002EU187 , 4J002EU238 , 4J002EV217 , 4J002EV247 , 4J002EV297 , 4J002EV308 , 4J002FD010 , 4J002FD207 , 4J002FD208 , 4J002GQ05 , 4J027AA01 , 4J027AA08 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027AH03 , 4J027AJ01 , 4J027AJ05 , 4J027AJ08 , 4J027BA02 , 4J027BA04 , 4J027BA05 , 4J027BA08 , 4J027BA17 , 4J027CA10 , 4J027CA23 , 4J027CA25 , 4J027CA26 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CC06 , 4J027CC07 , 4J027CD10 , 4J038CG031 , 4J038DA041 , 4J038DB002 , 4J038FA112 , 4J038GA03 , 4J038GA06 , 4J038KA04 , 4J038MA02 , 4J038MA14 , 4J038NA21 , 4J038PA17 , 4J038PA19 , 5E314AA27 , 5E314AA31 , 5E314AA32 , 5E314AA45 , 5E314BB11 , 5E314CC07 , 5E314DD06 , 5E314DD07 , 5E314FF01 , 5E314GG17 , 5E314GG24 , 5E314GG26 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CF16 , 5E339CF18 , 5E339DD05 , 5E346AA43 , 5E346CC09 , 5E346CC32 , 5E346CC55 , 5E346DD03 , 5E346DD23 , 5E346DD24 , 5E346DD33 , 5E346EE39 , 5E346HH08 , 5E346HH18 , 5E346HH40

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